展會信息
基本信息
在這個信息速度堪比光速的社會,準確的大數(shù)據(jù),才是智能的基礎(chǔ)。傳感器的出現(xiàn),有利于獲取海量數(shù)據(jù),賦予“智能”新的含義,讓一個漫長的“傳統(tǒng)工業(yè)”時代變得“鮮活”,步入感知世界。近年來,智能手環(huán)、谷歌眼鏡等電子穿戴設(shè)備熱賣,智能開關(guān)、溫控器等智能家居興起,無人機等航空航天器材備受資本青睞……傳感器已滲透到各個領(lǐng)域。傳感技術(shù)的進步不但可以提高智能時代的質(zhì)量水平,更能有力地促進經(jīng)濟發(fā)展、社會“智慧”。近年來,隨著世界范圍內(nèi)信息技術(shù)的快速發(fā)展,傳感器與微系統(tǒng)(MEMS)產(chǎn)業(yè)是重中之重,發(fā)展傳感器與微系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)尤為重要。為了傳感器與微系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)健康良好的發(fā)展,推進傳感器與微系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)在相關(guān)領(lǐng)域的應(yīng)用,主辦單位邀請各相關(guān)單位特舉辦“2016中國國際傳感器與微系統(tǒng)(MEMS)產(chǎn)品技術(shù)應(yīng)用展覽會”,旨在搭建國際傳感器與微系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的展示交流的平臺,促進上下游全方位的合作,為加快發(fā)展我國戰(zhàn)略性傳感器與微系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)做貢獻。
展品范圍
1、MEMS器件光學(xué)MEMS:反射、光量開關(guān)、掃描、微型構(gòu)件、微機械光學(xué)器件射頻MEMS、開關(guān)、振蕩器、過濾等;
射頻MEMS:開關(guān),振蕩器/諧振器、過濾等;
MEMS傳感器:加速度計、軸傳感器、陀螺儀、壓力傳感器、重力傳感器、角速度傳感器、位移傳感器、觸摸傳感器、氣體傳感器、溫度傳感器、磁力計、磁傳感器、電子羅盤、濕度傳感器、流量傳感器、振動傳感器、電容傳感器、電學(xué)傳感器、傾角傳感器、機械傳感器、硅麥克風、圖像傳感器、MEMS慣性傳感器、MEMS微鏡、MEMS慣性測量單元、BAW濾波器和雙工器、微射流、微流引導(dǎo)、微感應(yīng)器等;
MEMS執(zhí)行器:生物芯片、材料芯片、燈、泵、微流控芯片;
MEMS電能:燃料電池,微發(fā)電機等;
生物/化學(xué)MEMS:DNA/RNA技術(shù),化學(xué)檢測等、MEMS晶振;
高復(fù)合型MEMS:CMOS/MEMS,LSI/MEMS一體化、MEMSIP等;
MEMS應(yīng)用:MEMS傳感器解決方案、麥克風,顯示等、超微型機械人裝置、微型工廠等、傳感器網(wǎng)絡(luò)、能量收集等;
2、生物MEMS與醫(yī)療應(yīng)用:MEMS技術(shù)在醫(yī)療處理及診斷方面的應(yīng)用、DDS、納米膠囊;尖端DNA&RNA技術(shù)、微反應(yīng)器、微流引導(dǎo)、微流控芯片等;
3、MEMS加工設(shè)備
光刻設(shè)備:半導(dǎo)體激光直寫光刻、投影掃描光刻機等、無掩膜光刻設(shè)備、曝光系統(tǒng)、雙面測試系統(tǒng);
鍍膜設(shè)備:磁控濺射鍍膜設(shè)備、離子束濺射鍍膜設(shè)備、電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備、多弧離子鍍膜設(shè)備、真空鍍膜設(shè)備、涂層設(shè)備、薄膜成形、汽相淀積、濺射、光罩繪圖機;
沉積設(shè)備:GaN外延沉積用MOCVD設(shè)備;原子層沉積設(shè)備;等離子沉積設(shè)備;液態(tài)源沉積設(shè)備等;
刻蝕設(shè)備:反離子刻蝕設(shè)備、ICP刻蝕設(shè)備、MEMS干法/濕法工藝系統(tǒng)、深反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備等;
清洗設(shè)備設(shè)備:等離子清洗設(shè)備、UV-O3清洗設(shè)備、光掩膜清洗設(shè)備等;
晶圓片鍵合:晶圓切割、芯片/導(dǎo)線焊接、涂膠、勻膠、去膠設(shè)備、烘烤、顯影、對準工藝設(shè)備、擴散爐、微成形(注射,熱壓)、離子注入機等其他生產(chǎn)設(shè)備等;
分析與檢測儀器:光罩缺陷檢測、半導(dǎo)體檢測設(shè)備、封裝檢測、表面分析儀器、粗糙度儀、粗糙度檢測儀、圓度儀、質(zhì)譜儀、硅片探針臺、掃描電子顯微鏡、薄膜厚度測量系統(tǒng);顯微設(shè)備:光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡、探針顯微鏡、電子能譜儀;檢漏儀器、靜電負離子空氣凈化機;氣體分析及檢測、分析和測量系統(tǒng)等;
4、MEMS代工/封測:MEMS中式平臺;仿真設(shè)計、原型測試、產(chǎn)品開發(fā)、量產(chǎn);其他代工服務(wù):圖案形成、薄膜形成、雷射、離子脈沖加工、噴鍍;封裝:MEMS封裝、裝配、測試和校準;
主辦信息
主辦單位:中華人民共和國商務(wù)部、中華人民共和國科學(xué)技術(shù)部、中華人民共和國國家知識產(chǎn)權(quán)局、上海市人民政府支持單位:UNIDO聯(lián)合國工業(yè)發(fā)展組織、UNDP聯(lián)合國開發(fā)計劃署、WIPO世界知識產(chǎn)權(quán)組織
承辦單位:上海市國際技術(shù)進出口促進中心、中國機電產(chǎn)品進出口商會、東浩蘭生集團上海外經(jīng)貿(mào)商務(wù)展覽有限公司、企榮(上海)展覽服務(wù)有限公司
聯(lián)系信息
地址:上海市青浦區(qū)華徐路888號1號樓7018室電話:021-60421324
聯(lián)系人:柴明奎18611082002
傳真:021-31575512
郵箱:305767789@qq.com
網(wǎng)站:www.cimems-expo.com
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